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“半導(dǎo)體與電子材料分析測試技術(shù)研討會(huì)”成功舉辦
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2025-03-04 11:28
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2025年2月18日，由甬江實(shí)驗(yàn)室材料分析與檢測中心和鉑金埃爾默企業(yè)管理（上海）有限公司聯(lián)合主辦的“半導(dǎo)體與電子材料分析測試技術(shù)研討會(huì)”在杭州成功舉辦。會(huì)議匯聚半導(dǎo)體、集成電路、電子材料等產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)、科研院所及檢測服務(wù)平臺(tái)等技術(shù)人員、專家與科研團(tuán)隊(duì)，同時(shí)全國分析測試技術(shù)聯(lián)盟NATTA、浙江伍一技術(shù)股份有限公司、寧波市升力同創(chuàng)科技咨詢服務(wù)有限公司，以及我司寧波愛瑞博實(shí)驗(yàn)室系統(tǒng)工程有限公司作為協(xié)辦單位受邀參加本次會(huì)議。會(huì)議聚焦分析測試技術(shù)的前沿突破與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，通過專題報(bào)告、技術(shù)演示與產(chǎn)學(xué)研對(duì)話，系統(tǒng)展示了現(xiàn)代分析技術(shù)在半導(dǎo)體材料研發(fā)、智能控制及性能優(yōu)化等方面的核心價(jià)值。
2025年2月18日，由甬江實(shí)驗(yàn)室材料分析與檢測中心和鉑金埃爾默企業(yè)管理（上海）有限公司聯(lián)合主辦的“半導(dǎo)體與電子材料分析測試技術(shù)研討會(huì)”在杭州成功舉辦。會(huì)議匯聚半導(dǎo)體、集成電路、電子材料等產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)、科研院所及檢測服務(wù)平臺(tái)等技術(shù)人員、專家與科研團(tuán)隊(duì)，同時(shí)全國分析測試技術(shù)聯(lián)盟NATTA、浙江伍一技術(shù)股份有限公司、寧波市升力同創(chuàng)科技咨詢服務(wù)有限公司，以及我司寧波愛瑞博實(shí)驗(yàn)室系統(tǒng)工程有限公司作為協(xié)辦單位受邀參加本次會(huì)議。會(huì)議聚焦分析測試技術(shù)的前沿突破與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，通過專題報(bào)告、技術(shù)演示與產(chǎn)學(xué)研對(duì)話，系統(tǒng)展示了現(xiàn)代分析技術(shù)在半導(dǎo)體材料研發(fā)、智能控制及性能優(yōu)化等方面的核心價(jià)值。
首先，甬江實(shí)驗(yàn)室平臺(tái)主任——鐘飛，介紹了“信息材料與微納器件制備平臺(tái)”。此平臺(tái)立足于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)前沿，聚焦“芯片異構(gòu)集成”與“微納光學(xué)”兩大核心領(lǐng)域，構(gòu)建面向下一代智能系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造技術(shù)體系。針對(duì)高速通訊、元宇宙、自動(dòng)駕駛、智能機(jī)器人等戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)對(duì)高性能芯片的迫切需求，平臺(tái)打造了覆蓋“材料-器件-模組-系統(tǒng)”的全產(chǎn)業(yè)鏈創(chuàng)新鏈條，致力于突破制約產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵制造技術(shù)瓶頸。
在芯片異構(gòu)集成方向，平臺(tái)重點(diǎn)攻克基于TSV的3D集成技術(shù)、晶圓級(jí)先進(jìn)封裝工藝、多材料體系兼容制造等核心技術(shù)。通過開發(fā)新型中介層架構(gòu)和異質(zhì)界面處理技術(shù)，實(shí)現(xiàn)邏輯芯片、存儲(chǔ)單元、射頻模塊的高密度垂直堆疊，顯著提升系統(tǒng)級(jí)芯片的能效比和功能集成度。針對(duì)自動(dòng)駕駛域控制器、AR/VR終端設(shè)備對(duì)異構(gòu)計(jì)算的特殊需求，平臺(tái)已建立包含2.5D/3D封裝設(shè)計(jì)、熱應(yīng)力仿真、可靠性驗(yàn)證在內(nèi)的完整技術(shù)解決方案。微納光學(xué)技術(shù)研發(fā)方面，平臺(tái)構(gòu)建了從納米壓印到電子束直寫的全譜系微納加工能力。重點(diǎn)突破超表面光學(xué)器件設(shè)計(jì)、光子晶體集成工藝、硅基光電子混合集成等關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)出面向光通信的亞波長光柵耦合器、應(yīng)用于AR顯示的全息波導(dǎo)元件等系列創(chuàng)新產(chǎn)品。
2025年半導(dǎo)體行業(yè)在AI、自主可控、先進(jìn)制程三重驅(qū)動(dòng)下，將進(jìn)入新一輪增長周期。針對(duì)半導(dǎo)體市場在全球以及中國的發(fā)展前景，SEMI半導(dǎo)體事業(yè)發(fā)展部總監(jiān)——顧文昕，進(jìn)行了政治環(huán)境、經(jīng)濟(jì)環(huán)境、社會(huì)環(huán)境、技術(shù)環(huán)境多維度的深入數(shù)據(jù)解讀。全球半導(dǎo)體市場處于短期波動(dòng)不改，長期仍然增長，AI、汽車、工業(yè)4.0為三大核心驅(qū)動(dòng)力；中國半導(dǎo)體市場：國產(chǎn)替代加速發(fā)展中，但需突破設(shè)備與材料瓶頸，深化地緣政治下“雙循環(huán)”戰(zhàn)略。在未來5年，半導(dǎo)體行業(yè)將呈現(xiàn)“技術(shù)多極化”（美國主導(dǎo)設(shè)計(jì)、東亞主導(dǎo)制造、中國追趕成熟制程）與“供應(yīng)鏈區(qū)域化”并行格局，技術(shù)創(chuàng)新與政策博弈將持續(xù)塑造產(chǎn)業(yè)生態(tài)。
會(huì)議經(jīng)過短暫的休憩，鉑金埃爾默就ICP-MS在半導(dǎo)體材料元素分析中的新突破，邀請(qǐng)半導(dǎo)體ICPMS資深應(yīng)用專家——徐俊俊，闡述了鉑金埃爾默發(fā)布的NexION 5000 ICP-MS系統(tǒng)，憑借其多四極桿質(zhì)量過濾器與動(dòng)態(tài)反應(yīng)池（DRC）技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)半導(dǎo)體級(jí)超純材料中痕量金屬雜質(zhì)的超靈敏檢測。該系統(tǒng)通過質(zhì)量位移法有效消除40Ar16O?對(duì)56Fe?的干擾，將檢測限推進(jìn)至0.02 ng/L（ppq級(jí)），成功應(yīng)用于3nm制程晶圓清洗液的雜質(zhì)監(jiān)控。開發(fā)了原位激光剝蝕（LA）-ICP-MS聯(lián)用方案，針對(duì)高純硅片表面金屬污染，可對(duì)300mm晶圓實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)九宮格掃描分析，單點(diǎn)檢測時(shí)間縮短至20秒；在寬禁帶半導(dǎo)體（GaN、SiC）體材料分析中，結(jié)合高分辨扇形磁場技術(shù)，實(shí)現(xiàn)B、Al、C等輕元素的同位素分辨檢測，助力襯底晶體質(zhì)量評(píng)價(jià)。
隨后鉑金埃爾默半導(dǎo)體色譜質(zhì)譜資深應(yīng)用專家——付國偉，針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)特殊需求，推出LC-MS/MS系統(tǒng)的相關(guān)創(chuàng)新應(yīng)用：通過離子淌度分離（IMS）與多反應(yīng)監(jiān)測（MRM）聯(lián)用，可同時(shí)檢測EUV光刻膠中15種光酸產(chǎn)生劑（PAG）及其降解產(chǎn)物，靈敏度達(dá)fg/mm²級(jí)別的光刻膠殘留分析；對(duì)封裝材料VOCs溯源，結(jié)合熱脫附-GC/MS聯(lián)用系統(tǒng)與AI譜庫，實(shí)現(xiàn)電子膠黏劑中3000+種揮發(fā)/半揮發(fā)性有機(jī)物的快速鑒定，檢測周期較傳統(tǒng)方法縮短70%。
為了進(jìn)一步了解質(zhì)譜技術(shù)的深度應(yīng)用，甬江實(shí)驗(yàn)室材料分析與檢測中心博士——高鐘偉，在會(huì)議中展示了甬江實(shí)驗(yàn)室在動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜（DSIMS）的技術(shù)突破，基于TOF-SIMS 5.0系統(tǒng)，創(chuàng)新開發(fā)三維原子探針成像技術(shù)：在FinFET器件中實(shí)現(xiàn)硼/磷摻雜分布的原子級(jí)分辨率成像（橫向分辨率<30nm），精準(zhǔn)定位界面摻雜濃度梯度異常區(qū)域；采用氬團(tuán)簇離子束（Ar-GCIB）濺射技術(shù)，將高k介質(zhì)層（HfO2）中氫雜質(zhì)的縱向檢測限推進(jìn)至5×1014 atoms/cm³，為柵極漏電機(jī)理研究提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)。同時(shí)在輝光放電質(zhì)譜（GDMS）的應(yīng)用中也取得了創(chuàng)新方案，攻克高阻碳化硅（SiC）晶圓濺射均勻性難題，通過脈沖調(diào)制射頻源技術(shù)實(shí)現(xiàn)6英寸晶圓表面Fe、Ni污染的快速面掃描（掃描速度5mm/s，精度±3%）；開發(fā)深度分辨率增強(qiáng)算法，在氧化鎵（Ga2O3）襯底中實(shí)現(xiàn)Mg受主雜質(zhì)的縱向分布分析，動(dòng)態(tài)范圍跨越6個(gè)數(shù)量級(jí)。
鉑金埃爾默熱分析資深應(yīng)用專家——魯少鵬，聚焦半導(dǎo)體與電子材料，對(duì)熱分析系統(tǒng)進(jìn)行了分析，儀器通過超高速傳感器將升溫速率提升至200萬K/s，首次捕捉到Low-k介質(zhì)材料在毫秒級(jí)退火過程中的玻璃化轉(zhuǎn)變動(dòng)力學(xué)。結(jié)合多物理場耦合仿真模塊，該系統(tǒng)為先進(jìn)封裝材料的熱機(jī)械性能評(píng)估提供了從納米級(jí)局部熱分析到宏觀熱膨脹行為的全尺度解決方案。
最后，鉑金埃爾默分子光譜應(yīng)用經(jīng)理——方偉宇，介紹了分子光譜技術(shù)的前沿技術(shù)和應(yīng)用，鉑金埃爾默發(fā)布的Spotlight 4000 FTIR成像系統(tǒng)，已達(dá)到了納米級(jí)，通過光熱納米探針（PTNP）技術(shù)將紅外光譜空間分辨率推進(jìn)至15nm，成功實(shí)現(xiàn)FinFET柵極界面單分子層的化學(xué)官能團(tuán)成像。其Spectrum 3 FTIR-Raman-SEM關(guān)聯(lián)顯微系統(tǒng)，首次在二維材料異質(zhì)結(jié)研究中同步獲取量子阱結(jié)構(gòu)形貌（SEM）、應(yīng)力分布（拉曼）與成分偏析（EDS），相關(guān)技術(shù)成果被應(yīng)用于新型過渡金屬硫族化合物器件的失效分析。
本次研討會(huì)不僅全景展現(xiàn)了分析測試技術(shù)的創(chuàng)新圖譜，更揭示了檢測靈敏度向原子級(jí)尺度逼近，智能化轉(zhuǎn)型將加速分析范式變革。我司儀器技術(shù)團(tuán)隊(duì)根據(jù)本次會(huì)議成果，重點(diǎn)學(xué)習(xí)原位分析技術(shù)與人工智能解析系統(tǒng)的導(dǎo)入，以優(yōu)化在寬禁帶半導(dǎo)體材料應(yīng)用中的技術(shù)壁壘。未來，微觀尺度分析能力的突破將持續(xù)賦能半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向更小節(jié)點(diǎn)、更高可靠性邁進(jìn)。
愛瑞博集團(tuán)是由寧波愛瑞博儀器科技有限公司、寧波愛瑞博實(shí)驗(yàn)室系統(tǒng)工程有限公司、潤豐國際（香港）有限公司組成；是一家全國領(lǐng)先的實(shí)驗(yàn)室一站式EPC集成服務(wù)商。集團(tuán)堅(jiān)持以客戶為中心，深耕實(shí)驗(yàn)室技術(shù)服務(wù)，聚焦9大領(lǐng)域，提供7類核心技術(shù)服務(wù)，公司總部位于寧波國家高新區(qū)，為了更好的服務(wù)顧客，公司先后在東莞、長沙、蘇州、衡陽等地成立了辦事處，同時(shí)為客戶提供基礎(chǔ)型實(shí)驗(yàn)室到智能化實(shí)驗(yàn)室全階段的實(shí)驗(yàn)室整體解決方案。
愛瑞博集團(tuán)先后通過了ISO9001質(zhì)量管理體系認(rèn)證、ISO14001環(huán)境管理體系認(rèn)證、ISO45001職業(yè)健康安全管理體系認(rèn)證、國家AAA級(jí)企業(yè)信用資格證書、安全生產(chǎn)許可證、建筑裝修裝飾工程專業(yè)承包二級(jí)證書、電子與智能化工程專業(yè)承包二級(jí)證書、危險(xiǎn)化學(xué)品經(jīng)營許可證、非藥品類易制毒化學(xué)品經(jīng)營報(bào)備證明、SGS認(rèn)可合作供應(yīng)商證書等。
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2025年07月22日
愛瑞博助力揚(yáng)州金泉越南廣南實(shí)驗(yàn)室項(xiàng)目全面建設(shè)
越南廣南省，PEAK帳篷生產(chǎn)基地內(nèi)，由愛瑞博承建的揚(yáng)州金泉越南戶外用品檢測實(shí)驗(yàn)室，在順利完成精密嚴(yán)謹(jǐn)?shù)那捌谠O(shè)計(jì)工作后，現(xiàn)已全面進(jìn)入關(guān)鍵的施工建設(shè)階段。
2025年07月15日
先進(jìn)電鏡制樣技術(shù)國際交流會(huì)圓滿舉辦—共探微觀精研之法
2025年6月18日至19日，由甬江實(shí)驗(yàn)室材料分析與檢測中心、徠卡儀器有限公司、上海主流貿(mào)易有限公司聯(lián)合主辦，甬江實(shí)驗(yàn)室信息材料與微納器件制備平臺(tái)、全國分析測試技術(shù)聯(lián)盟共同協(xié)辦的“先進(jìn)電鏡制樣技術(shù)國際交流會(huì)”在寧波甬江實(shí)驗(yàn)室成功舉行。此次高規(guī)格會(huì)議聚焦材料科學(xué)與新能源領(lǐng)域的前沿電鏡制樣技術(shù)，吸引了來自同濟(jì)大學(xué)、寧波材料所、寧波大學(xué)等頂尖學(xué)府與科研機(jī)構(gòu)，以及寧波杉杉新材料科技有限公司、方太廚具、東睦新材料、寧波恒信等行業(yè)龍頭企業(yè)在內(nèi)的約120位代表。愛瑞博集團(tuán)作為實(shí)驗(yàn)室行業(yè)的重要參與者，總經(jīng)理攜同相關(guān)技術(shù)人員出席了本次盛會(huì)，與業(yè)界精英共襄盛舉，深入探討電鏡制樣技術(shù)的創(chuàng)新應(yīng)用與發(fā)展趨勢。
2025年07月03日
科技賦能 共贏未來—寧波愛瑞博儀器科技有限公司正式成為德國賓德（BINDER）全系列產(chǎn)品的授權(quán)合作伙伴
2025年6月16日，寧波愛瑞博儀器科技有限公司與全球環(huán)境模擬技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)者德國賓德（BINDER）達(dá)成戰(zhàn)略合作，經(jīng)賓德環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備（上海）有限公司代表，獲得德國賓德全系列產(chǎn)品的授權(quán)！6月13日，賓德亞太區(qū)總經(jīng)理有泉華良先生、中國區(qū)銷售總經(jīng)理運(yùn)國石先生等領(lǐng)導(dǎo)蒞臨愛瑞博集團(tuán)，與我司總經(jīng)理陳書清、市場總監(jiān)胡國相進(jìn)行了卓有成效的戰(zhàn)略會(huì)談。此次深度交流標(biāo)志著雙方合作進(jìn)入全新階段，將為國內(nèi)科研與工業(yè)領(lǐng)域客戶帶來更卓越的環(huán)境模擬解決方案。
2025年06月23日
寧波愛瑞博儀器科技有限公司與天美儀拓實(shí)驗(yàn)室 （上海）有限公司攜手合作，共鑄準(zhǔn)繩
追求實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)精準(zhǔn)無誤的道路上，選擇值得信賴的儀器與合作伙伴至關(guān)重要。我司榮幸宣布，正式獲得瑞士普利賽斯（Precisa）和天美天平在浙江省的官方授權(quán)代理資格。這不僅是對(duì)我司技術(shù)實(shí)力與服務(wù)能力的認(rèn)可，更是我司深化實(shí)驗(yàn)室精密儀器服務(wù)布局的戰(zhàn)略舉措。我們將攜手全球?qū)嶒?yàn)室天平領(lǐng)先品牌，為中國用戶提供原廠品質(zhì)、尖端技術(shù)、無憂服務(wù)的稱量解決方案。
2025年06月19日
電子信息產(chǎn)業(yè)形勢報(bào)告會(huì)暨寧波電子行業(yè)協(xié)會(huì) 六屆二次會(huì)員大會(huì)于寧波隆重舉行
2025年4月25日下午，聚焦電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展前沿的電子信息產(chǎn)業(yè)形勢報(bào)告會(huì)暨寧波電子行業(yè)協(xié)會(huì)六屆二次理事會(huì)議、會(huì)員大會(huì)在寧波南苑飯店隆重舉行。作為積極響應(yīng)建設(shè)信息化、智能化實(shí)驗(yàn)室的一站式EPC集成服務(wù)核心供應(yīng)商，相關(guān)技術(shù)人員代表愛瑞博集團(tuán)參與本次盛會(huì)。與市發(fā)改委、市經(jīng)信局、寧波海關(guān)等政府部門領(lǐng)導(dǎo)、協(xié)會(huì)領(lǐng)導(dǎo)以及近200位產(chǎn)業(yè)鏈同仁齊聚一堂，共商發(fā)展大計(jì)，共享行業(yè)洞見，現(xiàn)場氛圍熱烈，充分彰顯了寧波電子信息產(chǎn)業(yè)的蓬勃生機(jī)與強(qiáng)大凝聚力。
2025年05月28日
“2025年（第九屆）國際烯烴及聚烯烴大會(huì)”于寧波盛大啟幕
2025年5月21日—23日，由中國化工學(xué)會(huì)、寧波市科學(xué)技術(shù)協(xié)會(huì)和Lee Plastics Consulting, LLC, USA聯(lián)合主辦的“2025年（第九屆）國際烯烴及聚烯烴大會(huì)”于寧波東港喜來登酒店盛大啟幕。本屆大會(huì)以“提升烯烴產(chǎn)業(yè)高端技術(shù)創(chuàng)新能力，推進(jìn)石化產(chǎn)業(yè)新質(zhì)生產(chǎn)力發(fā)展”為核心主題，以推動(dòng)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新升級(jí)為核心目標(biāo)，聚焦烯烴及高端聚烯烴領(lǐng)域的技術(shù)突破與前沿動(dòng)態(tài)，重點(diǎn)研討催化劑技術(shù)創(chuàng)新、高分子材料開發(fā)應(yīng)用等核心議題，通過產(chǎn)學(xué)研深度交流探索產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展的新方向、新技術(shù)應(yīng)用及新興市場。
2025年05月19日
寧波愛瑞博實(shí)驗(yàn)室系統(tǒng)工程有限公司與金現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)股份有限公司達(dá)成戰(zhàn)略合作——共啟實(shí)驗(yàn)室信息化新未來
在數(shù)字化浪潮席卷全球的今天，實(shí)驗(yàn)室信息化建設(shè)已成為科研創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)升級(jí)的核心驅(qū)動(dòng)力。為積極響應(yīng)行業(yè)發(fā)展趨勢，提升企業(yè)核心競爭力，愛瑞博實(shí)驗(yàn)室正式與國內(nèi)數(shù)字化解決方案領(lǐng)軍企業(yè)——金現(xiàn)代信息產(chǎn)業(yè)股份有限公司（股票代碼:300830）達(dá)成戰(zhàn)略合作，成為其官方授權(quán)代理商。此次合作不僅是雙方技術(shù)實(shí)力與行業(yè)經(jīng)驗(yàn)的強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合，更是共同探索實(shí)驗(yàn)室信息化生態(tài)的重要里程碑。標(biāo)志著我司在實(shí)驗(yàn)室信息化建設(shè)領(lǐng)域邁出關(guān)鍵一步，將為客戶提供更高效、更智能、更前瞻的數(shù)字化服務(wù)新體驗(yàn)。
2025年03月17日
愛瑞博集團(tuán)XRF技術(shù)專題培訓(xùn)
為持續(xù)提升實(shí)驗(yàn)室技術(shù)服務(wù)品質(zhì)，夯實(shí)客戶價(jià)值創(chuàng)造根基。2025年3月5日下午，愛瑞博集團(tuán)特邀德國斯派克（SPECTRO）XRF技術(shù)專家曹嘉洌老師，開展為期半天的深度技術(shù)培訓(xùn)。通過系統(tǒng)化學(xué)習(xí)國際前沿儀器知識(shí)、強(qiáng)化實(shí)踐應(yīng)用能力，公司技術(shù)團(tuán)隊(duì)的專業(yè)水平與服務(wù)效能實(shí)現(xiàn)全面升級(jí)，為客戶提供更精準(zhǔn)、高效的技術(shù)支持，注入新動(dòng)能。
2025年03月04日
愛瑞博集團(tuán)先后通過了ISO9001質(zhì)量管理體系認(rèn)證、ISO14001環(huán)境管理體系認(rèn)證、ISO45001職業(yè)健康安全管理體系認(rèn)證、國家AAA級(jí)企業(yè)信用資格證書、安全生產(chǎn)許可證、建筑裝修裝飾工程專業(yè)承包二級(jí)證書、電子與智能化工程專業(yè)承包二級(jí)證書、危險(xiǎn)化學(xué)品經(jīng)營許可證、非藥品類易制毒化學(xué)品經(jīng)營報(bào)備證明、SGS認(rèn)可合作供應(yīng)商證書等。
2025年02月19日
“光譜儀是科學(xué)家的眼睛，而操作者的認(rèn)知深度決定了它的洞察力。”為了更好的服務(wù)廣大客戶，提升我們的專項(xiàng)技術(shù)技能和經(jīng)驗(yàn)， 2025年2月12日下午，愛瑞博集團(tuán)邀請(qǐng)布魯克大區(qū)經(jīng)理——陳樹坤老師蒞臨公司，為技術(shù)團(tuán)隊(duì)帶來為期半日的深度培訓(xùn)，愛瑞博作為德國布魯克光譜產(chǎn)品的簽約代理商，此次交流不僅是布魯克進(jìn)行的技術(shù)賦能，更是兩者企業(yè)文化的生動(dòng)詮釋。
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