2025年2月18日，由甬江實(shí)驗(yàn)室材料分析與檢測(cè)中心和鉑金埃爾默企業(yè)管理（上海）有限公司聯(lián)合主辦的“半導(dǎo)體與電子材料分析測(cè)試技術(shù)研討會(huì)”在杭州成功舉辦。會(huì)議匯聚半導(dǎo)體、集成電路、電子材料等產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)、科研院所及檢測(cè)服務(wù)平臺(tái)等技術(shù)人員、專(zhuān)家與科研團(tuán)隊(duì)，同時(shí)全國(guó)分析測(cè)試技術(shù)聯(lián)盟NATTA、浙江伍一技術(shù)股份有限公司、寧波市升力同創(chuàng)科技咨詢(xún)服務(wù)有限公司，以及我司寧波愛(ài)瑞博實(shí)驗(yàn)室系統(tǒng)工程有限公司作為協(xié)辦單位受邀參加本次會(huì)議。會(huì)議聚焦分析測(cè)試技術(shù)的前沿突破與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，通過(guò)專(zhuān)題報(bào)告、技術(shù)演示與產(chǎn)學(xué)研對(duì)話(huà)，系統(tǒng)展示了現(xiàn)代分析技術(shù)在半導(dǎo)體材料研發(fā)、智能控制及性能優(yōu)化等方面的核心價(jià)值。

首先，甬江實(shí)驗(yàn)室平臺(tái)主任——鐘飛，介紹了“信息材料與微納器件制備平臺(tái)”。此平臺(tái)立足于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)前沿，聚焦“芯片異構(gòu)集成”與“微納光學(xué)”兩大核心領(lǐng)域，構(gòu)建面向下一代智能系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造技術(shù)體系。針對(duì)高速通訊、元宇宙、自動(dòng)駕駛、智能機(jī)器人等戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)對(duì)高性能芯片的迫切需求，平臺(tái)打造了覆蓋“材料-器件-模組-系統(tǒng)”的全產(chǎn)業(yè)鏈創(chuàng)新鏈條，致力于突破制約產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵制造技術(shù)瓶頸。

在芯片異構(gòu)集成方向，平臺(tái)重點(diǎn)攻克基于TSV的3D集成技術(shù)、晶圓級(jí)先進(jìn)封裝工藝、多材料體系兼容制造等核心技術(shù)。通過(guò)開(kāi)發(fā)新型中介層架構(gòu)和異質(zhì)界面處理技術(shù)，實(shí)現(xiàn)邏輯芯片、存儲(chǔ)單元、射頻模塊的高密度垂直堆疊，顯著提升系統(tǒng)級(jí)芯片的能效比和功能集成度。針對(duì)自動(dòng)駕駛域控制器、AR/VR終端設(shè)備對(duì)異構(gòu)計(jì)算的特殊需求，平臺(tái)已建立包含2.5D/3D封裝設(shè)計(jì)、熱應(yīng)力仿真、可靠性驗(yàn)證在內(nèi)的完整技術(shù)解決方案。微納光學(xué)技術(shù)研發(fā)方面，平臺(tái)構(gòu)建了從納米壓印到電子束直寫(xiě)的全譜系微納加工能力。重點(diǎn)突破超表面光學(xué)器件設(shè)計(jì)、光子晶體集成工藝、硅基光電子混合集成等關(guān)鍵技術(shù)，開(kāi)發(fā)出面向光通信的亞波長(zhǎng)光柵耦合器、應(yīng)用于AR顯示的全息波導(dǎo)元件等系列創(chuàng)新產(chǎn)品。

2025年半導(dǎo)體行業(yè)在AI、自主可控、先進(jìn)制程三重驅(qū)動(dòng)下，將進(jìn)入新一輪增長(zhǎng)周期。針對(duì)半導(dǎo)體市場(chǎng)在全球以及中國(guó)的發(fā)展前景，SEMI半導(dǎo)體事業(yè)發(fā)展部總監(jiān)——顧文昕，進(jìn)行了政治環(huán)境、經(jīng)濟(jì)環(huán)境、社會(huì)環(huán)境、技術(shù)環(huán)境多維度的深入數(shù)據(jù)解讀。全球半導(dǎo)體市場(chǎng)處于短期波動(dòng)不改，長(zhǎng)期仍然增長(zhǎng)，AI、汽車(chē)、工業(yè)4.0為三大核心驅(qū)動(dòng)力；中國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)：國(guó)產(chǎn)替代加速發(fā)展中，但需突破設(shè)備與材料瓶頸，深化地緣政治下“雙循環(huán)”戰(zhàn)略。在未來(lái)5年，半導(dǎo)體行業(yè)將呈現(xiàn)“技術(shù)多極化”（美國(guó)主導(dǎo)設(shè)計(jì)、東亞主導(dǎo)制造、中國(guó)追趕成熟制程）與“供應(yīng)鏈區(qū)域化”并行格局，技術(shù)創(chuàng)新與政策博弈將持續(xù)塑造產(chǎn)業(yè)生態(tài)。

會(huì)議經(jīng)過(guò)短暫的休憩，鉑金埃爾默就ICP-MS在半導(dǎo)體材料元素分析中的新突破，邀請(qǐng)半導(dǎo)體ICPMS資深應(yīng)用專(zhuān)家——徐俊俊，闡述了鉑金埃爾默發(fā)布的NexION 5000 ICP-MS系統(tǒng)，憑借其多四極桿質(zhì)量過(guò)濾器與動(dòng)態(tài)反應(yīng)池（DRC）技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)半導(dǎo)體級(jí)超純材料中痕量金屬雜質(zhì)的超靈敏檢測(cè)。該系統(tǒng)通過(guò)質(zhì)量位移法有效消除40Ar16O?對(duì)56Fe?的干擾，將檢測(cè)限推進(jìn)至0.02 ng/L（ppq級(jí)），成功應(yīng)用于3nm制程晶圓清洗液的雜質(zhì)監(jiān)控。開(kāi)發(fā)了原位激光剝蝕（LA）-ICP-MS聯(lián)用方案，針對(duì)高純硅片表面金屬污染，可對(duì)300mm晶圓實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)九宮格掃描分析，單點(diǎn)檢測(cè)時(shí)間縮短至20秒；在寬禁帶半導(dǎo)體（GaN、SiC）體材料分析中，結(jié)合高分辨扇形磁場(chǎng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)B、Al、C等輕元素的同位素分辨檢測(cè)，助力襯底晶體質(zhì)量評(píng)價(jià)。

隨后鉑金埃爾默半導(dǎo)體色譜質(zhì)譜資深應(yīng)用專(zhuān)家——付國(guó)偉，針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)特殊需求，推出LC-MS/MS系統(tǒng)的相關(guān)創(chuàng)新應(yīng)用：通過(guò)離子淌度分離（IMS）與多反應(yīng)監(jiān)測(cè)（MRM）聯(lián)用，可同時(shí)檢測(cè)EUV光刻膠中15種光酸產(chǎn)生劑（PAG）及其降解產(chǎn)物，靈敏度達(dá)fg/mm²級(jí)別的光刻膠殘留分析；對(duì)封裝材料VOCs溯源，結(jié)合熱脫附-GC/MS聯(lián)用系統(tǒng)與AI譜庫(kù)，實(shí)現(xiàn)電子膠黏劑中3000+種揮發(fā)/半揮發(fā)性有機(jī)物的快速鑒定，檢測(cè)周期較傳統(tǒng)方法縮短70%。

為了進(jìn)一步了解質(zhì)譜技術(shù)的深度應(yīng)用，甬江實(shí)驗(yàn)室材料分析與檢測(cè)中心博士——高鐘偉，在會(huì)議中展示了甬江實(shí)驗(yàn)室在動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜（DSIMS）的技術(shù)突破，基于TOF-SIMS 5.0系統(tǒng)，創(chuàng)新開(kāi)發(fā)三維原子探針成像技術(shù)：在FinFET器件中實(shí)現(xiàn)硼/磷摻雜分布的原子級(jí)分辨率成像（橫向分辨率<30nm），精準(zhǔn)定位界面摻雜濃度梯度異常區(qū)域；采用氬團(tuán)簇離子束（Ar-GCIB）濺射技術(shù)，將高k介質(zhì)層（HfO2）中氫雜質(zhì)的縱向檢測(cè)限推進(jìn)至5×1014 atoms/cm³，為柵極漏電機(jī)理研究提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)。同時(shí)在輝光放電質(zhì)譜（GDMS）的應(yīng)用中也取得了創(chuàng)新方案，攻克高阻碳化硅（SiC）晶圓濺射均勻性難題，通過(guò)脈沖調(diào)制射頻源技術(shù)實(shí)現(xiàn)6英寸晶圓表面Fe、Ni污染的快速面掃描（掃描速度5mm/s，精度±3%）；開(kāi)發(fā)深度分辨率增強(qiáng)算法，在氧化鎵（Ga2O3）襯底中實(shí)現(xiàn)Mg受主雜質(zhì)的縱向分布分析，動(dòng)態(tài)范圍跨越6個(gè)數(shù)量級(jí)。

鉑金埃爾默熱分析資深應(yīng)用專(zhuān)家——魯少鵬，聚焦半導(dǎo)體與電子材料，對(duì)熱分析系統(tǒng)進(jìn)行了分析，儀器通過(guò)超高速傳感器將升溫速率提升至200萬(wàn)K/s，首次捕捉到Low-k介質(zhì)材料在毫秒級(jí)退火過(guò)程中的玻璃化轉(zhuǎn)變動(dòng)力學(xué)。結(jié)合多物理場(chǎng)耦合仿真模塊，該系統(tǒng)為先進(jìn)封裝材料的熱機(jī)械性能評(píng)估提供了從納米級(jí)局部熱分析到宏觀熱膨脹行為的全尺度解決方案。

最后，鉑金埃爾默分子光譜應(yīng)用經(jīng)理——方偉宇，介紹了分子光譜技術(shù)的前沿技術(shù)和應(yīng)用，鉑金埃爾默發(fā)布的Spotlight 4000 FTIR成像系統(tǒng)，已達(dá)到了納米級(jí)，通過(guò)光熱納米探針（PTNP）技術(shù)將紅外光譜空間分辨率推進(jìn)至15nm，成功實(shí)現(xiàn)FinFET柵極界面單分子層的化學(xué)官能團(tuán)成像。其Spectrum 3 FTIR-Raman-SEM關(guān)聯(lián)顯微系統(tǒng)，首次在二維材料異質(zhì)結(jié)研究中同步獲取量子阱結(jié)構(gòu)形貌（SEM）、應(yīng)力分布（拉曼）與成分偏析（EDS），相關(guān)技術(shù)成果被應(yīng)用于新型過(guò)渡金屬硫族化合物器件的失效分析。

本次研討會(huì)不僅全景展現(xiàn)了分析測(cè)試技術(shù)的創(chuàng)新圖譜，更揭示了檢測(cè)靈敏度向原子級(jí)尺度逼近，智能化轉(zhuǎn)型將加速分析范式變革。我司儀器技術(shù)團(tuán)隊(duì)根據(jù)本次會(huì)議成果，重點(diǎn)學(xué)習(xí)原位分析技術(shù)與人工智能解析系統(tǒng)的導(dǎo)入，以?xún)?yōu)化在寬禁帶半導(dǎo)體材料應(yīng)用中的技術(shù)壁壘。未來(lái)，微觀尺度分析能力的突破將持續(xù)賦能半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向更小節(jié)點(diǎn)、更高可靠性邁進(jìn)。

愛(ài)瑞博集團(tuán)是由寧波愛(ài)瑞博儀器科技有限公司、寧波愛(ài)瑞博實(shí)驗(yàn)室系統(tǒng)工程有限公司、潤(rùn)豐國(guó)際（香港）有限公司組成；是一家全國(guó)領(lǐng)先的實(shí)驗(yàn)室一站式EPC集成服務(wù)商。集團(tuán)堅(jiān)持以客戶(hù)為中心，深耕實(shí)驗(yàn)室技術(shù)服務(wù)，聚焦9大領(lǐng)域，提供7類(lèi)核心技術(shù)服務(wù)，公司總部位于寧波國(guó)家高新區(qū)，為了更好的服務(wù)顧客，公司先后在東莞、長(zhǎng)沙、蘇州、衡陽(yáng)等地成立了辦事處，同時(shí)為客戶(hù)提供基礎(chǔ)型實(shí)驗(yàn)室到智能化實(shí)驗(yàn)室全階段的實(shí)驗(yàn)室整體解決方案。

愛(ài)瑞博集團(tuán)先后通過(guò)了ISO9001質(zhì)量管理體系認(rèn)證、ISO14001環(huán)境管理體系認(rèn)證、ISO45001職業(yè)健康安全管理體系認(rèn)證、國(guó)家AAA級(jí)企業(yè)信用資格證書(shū)、安全生產(chǎn)許可證、建筑裝修裝飾工程專(zhuān)業(yè)承包二級(jí)證書(shū)、電子與智能化工程專(zhuān)業(yè)承包二級(jí)證書(shū)、危險(xiǎn)化學(xué)品經(jīng)營(yíng)許可證、非藥品類(lèi)易制毒化學(xué)品經(jīng)營(yíng)報(bào)備證明、SGS認(rèn)可合作供應(yīng)商證書(shū)等。